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創微8吋Cassette-less設備成功導入積塔半導體,并獲得重復性批量訂單

欄目:公司新聞 發布時間:2022-06-27

近日,由創微微電子(常州)有限公司研發生產的8吋Cassette-less清洗設備順利交付至上海積塔半導體有限公司并開始驗證階段,運行情況良好。近期創微成功中標該客戶后續10余臺清洗設備重復訂單,制程涵蓋8吋至12吋。該批設備將用于集成電路前段濕法刻蝕、去膠、清洗以及后段金屬刻蝕、有機物去除相關工藝,標志著創微在濕法清洗領域已達到國際領先水平。

創微自2020年創立以來,依托捷佳偉創集團平臺,共享人才及技術,專注于整合國內外濕法技術與資源,引進臺灣地區、韓國、日本等專家團隊。研發團隊攻堅克難,自主創新,在短短一年的時間里,先后推出4-8吋全自動Cassette type清洗設備、8吋全自動Cassette-less清洗設備及4-8腔Single tool清洗設備。成功導入青島芯恩、成都德州儀器、上海積塔等國內頭部芯片企業并獲得重復性訂單。同時強化軟件實力,協同國內多家供應商著力開發驗證關鍵零部件,取得了多項“卡脖子”技術的重大突破。

著眼未來,公司已正式進軍12吋高階Single及Wet bench設備領域,與國際一線大廠展開直接競爭。在擴大設備應用面的同時,憑借高效能的自動化設計,高產能的生產排程軟件,高穩定性的傳輸系統等技術,結合高質量的品質系統,為客戶進行國產關鍵零部件的質量把關,最終同廣大上下游廠商一道,共同為中國半導體產業的發展做出更多貢獻。


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